сегодня: 05.08.2020

[сделать стартовой]

Рубрики
Общество
Экономика
Политика
Спорт
Наука
Культура
Образование
Здравоохранение
Информационные технологии
Силовые структуры
Криминал
Происшествия
Экология
Недвижимость
Нск-риэлт
Байкал
Национальные проекты
Лес - богатство Сибири
Нефть и газ Сибири
Сибирский уголь
Научно-технический прогресс
Сибиряки
Мир вокруг нас
Интервью
Актуально

Сибирский федеральный округ
Наука и жизнь

Луна образовалась в результате ядерного взрыва


Видеокамеры для "супермена"


"Конец света" в прямом смысле слова


Земные океаны и атмосфера появились благодаря метеоритной бомбардировке


Солнце на Земле


Искусственный интеллект совсем рядом



ТОП-20 инженерных чудес света



Четвероногий друг


Новости Байкала

2020-07-04 12:13:00 /РИА "Сибирь" /Новосибирск

Новосибирские ученые создали новый полимер для рентгеновской литографии





Ученые Новосибирского института органической химии СО РАН синтезировали акрилат-силоксановый гибридный мономер - фотополимерный материал c добавлением кремния, который обладает чувствительностью к синхротронному излучению и хорошо подходит для создания сложных микроструктур на твердых подложках методом рентгеновской литографии.

Ключевая сфера применения данной технологии - производство микросхем, при этом зачастую используются дорогостоящие импортные полимеры, например, на основе эпоксидной смолы. Новый материал может стать хорошей альтернативой зарубежным аналогам.

Эксперименты с использованием синхротронного излучения, проведенные специалистами Института ядерной физики имени Г. И. Будкера СО РАН, подтвердили эффективность полимера. Результаты представлены в журнале "Химия высоких энергий"

Рентгеновской литографией называют одну из наиболее распространенных технологий получения наноструктур, которая широко используется в микроэлектронике. Ключевой этап данной технологии предполагает нанесение на обрабатываемую поверхность тонкого слоя фотополимерного материала (резиста), который засвечивается рентгеновским излучением через непрозрачный шаблон с заданным рисунком. В результате в областях, открытых для облучения, запускается реакция полимеризации и резист твердеет, а в областях, закрытых шаблоном, он остается вязким и удаляется при дальнейшей обработке. Таким образом, на поверхности формируется необходимый рельеф.

В настоящее время для получения наиболее сложных "высокоаспектных" микроструктур зачастую используются дорогостоящие резисты зарубежного производства. Специалисты Новосибирского института органической химии СО РАН синтезировали материал под названием "акрилат-силоксановый гибридный мономер", который хорошо подходит для создания таких микроструктур и может стать достойной альтернативой импортным аналогам.

"Высокоаспектные структуры можно сравнить с небоскребами в микромире. Такие структуры и элементы на их основе могут быть получены с помощью синхротронного излучения, - рассказывает научный сотрудник Новосибирского института органической химии СО РАН, кандидат химических наук Дмитрий Деревянко. - В Институтк ядерной физики для этих целей традиционно используется импортный фоторезист на основе эпоксидного мономера. Мы же разработали альтернативный вариант: гибридный мономер, в состав которого входят акрилатные (органические) группы, участвующие в реакции полимеризации, а также силоксановые группы, которые содержат кремний, и придают конечному материалу твердость. Совместно со специалистами Института ядерной физики мы подобрали условия полимеризации и продемонстрировали возможность записи микроструктур на новом материале".

Для отработки технологии рентгеновской литографии с применением синхротронного излучения специалисты Сибирского центра синхротронного и терагерцового излучения Института ядерной физики использовали специальную экспериментальную станцию "LIGA-технология и рентгеновская литография", работающую на накопителе ВЭПП-3.

"Синхротронное излучение обладает высокой проникающей способностью, а также минимальной расходимостью электронного пучка, - пояснил старший научный сотрудник Института ядерной физики СО РАН, кандидат физических наук Борис Гольденберг. - Эти уникальные свойства СИ позволяют формировать структуры с микронными размерами и вертикальными стенками глубиной до нескольких сотен микрометров. Полученные микроструктуры могут использоваться в качестве оптических элементов для рентгеновского диапазона или элементов для микромеханических структур".

Сибирский центр синхротронного и терагерцового излучения Института ядерной физики СО РАН, на базе которого в том числе было проведено исследование, специализируется на фундаментальных и прикладных работах, связанных с использованием пучков синхротронного и терагерцового излучения, на разработке и создании экспериментальной аппаратуры и оборудования для таких работ, на разработке и создании специализированных источников синхротронного и терагерцового излучения. Ежегодно в центре работают десятки российских и зарубежных организаций, сообщили в пресс-службе Института ядерной физики СО РАН.



Cмотрите также:  Наука  Новосибирская область
Архив
пн вт ср чт пт сб вск
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
21
22
23
24
25
26
27
28
29
30
31
 
Поиск по сайту
Что? Где? Когда?
**** *****

24-28 сентября 2020 года в Иркутске пройдет кинофестиваль "Человек и природа"

******

С 5 по 11 октября 2020 года в Иркутске пройдёт чемпионат мира по хоккею с мячом

******
Сохраним Байкал!

Экологический кризис на Байкале: новый эпизод с сине-зелеными водорослями
Все о клещах

Новосибирские ученые: как уберечься от заболеваний, переносимых клещами

Планета Земля

2036 год: Апофеоз или Апокалипсис?


Катастрофы: возможность или неизбежность
Реклама

Универсальная вебкамера за 1190 рублей, функция автоматической записи
*******
О проекте Контакты Партнеры  
Rambler's Top100
Copyright © 2004-2020 РИА "Сибирь"
E-mail: rian@cn.ru
Телефон: 8(383) 214-20-12